文章摘要:半导体量子点量子计算是实现固态量子计算的重要途径之一，高质量量子计算材料制备是其中的关键。硅和锗材料能够实现无核自旋的同位素纯化，满足量子比特对长退相干时间的要求，同时与当前的硅工艺兼容，是实现半导体量子计算的重要材料平台。本文首先概述了近年来半导体量子点量子计算领域取得的重要进展，然后详细介绍了硅基硅/硅锗异质结、锗/硅锗异质结以及锗/硅一维线的制备方法、材料性质以及相应量子器件的研究进展，最后对需要解决的关键技术问题以及未来的发展方向进行了展望。

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论文分类号:TB383.1;O413

文章来源：《中国金属通报》 网址: http://www.zgjstbzz.cn/qikandaodu/2021/1013/1405.html